無塵淨化室(Clean Room)，亦稱為無塵室，淨化室或無塵車間。它是汙染控製的基礎。沒有無塵淨化室，汙染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2裏麵，無塵淨化室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控製空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔淨度級別。